从需求分析到运维支持，覆盖洁净室工程全生命周期。为 12 吋晶圆厂、化合物半导体产线提供设计、施工、检测一站式解决方案。
从需求到交付，每一步都按标准执行
现场勘察、工艺需求沟通、方案可行性评估
洁净室等级确定、系统方案设计与优化
围护结构、净化系统、动力配电、管道安装
系统联调、洁净度检测、HVAC 平衡
第三方检测认证、合规报告出具、资料移交
定期巡检、系统维护、应急响应服务
六大专业系统，覆盖洁净室工程全部技术环节
ISO 3-8 级洁净室围护结构（墙板、天花板、高架地板）、空调净化系统（MAU+FFU+DCC）、动力配电系统施工。严格遵循 ISO 14644 标准，确保洁净度一次性达标。
ISO 3-8 级MAU + FFU + DCC 组合方案，配合精密传感器与 BAS 楼宇自控系统，实现对洁净室温度与湿度的精确控制，满足光刻区、薄膜沉积区的严苛环境要求。
±0.5°C / ±3% RH颗粒物计数、压差测试、换气次数测量、温湿度均匀性测试、泄漏测试。出具符合 ISO 14644 和 GB 50591 标准的合规检测报告，支持第三方验收。
ISO 14644 检测酸碱排气、有机排气、一般排气分类设计。采用 PP/PVDF 防腐管道、洗涤塔处理设备，满足半导体产线有害气体排放的环保与安全要求。
酸碱/有机/一般高纯气体（N₂、O₂、Ar、H₂）和特种气体输送系统设计。气体柜、阀门箱、管道布局、泄漏检测系统集成，确保供气纯度与安全。
高纯气体输送双路供电架构、UPS 不间断电源、配电柜集成、电力监控系统。确保半导体产线供电可靠性与电能质量，支持 2N 冗余架构。
双路冗余不同洁净等级的工艺环境控制参数
| 参数 | ISO 3 级（光刻区） | ISO 4-5 级（薄膜/刻蚀） | ISO 6 级（封装测试） | ISO 7-8 级（辅助区） |
|---|---|---|---|---|
| 洁净等级 | ISO 3 级 | ISO 4-5 级 | ISO 6 级 | ISO 7-8 级 |
| 温度控制 | 23°C ± 0.5°C | 23°C ± 1°C | 23°C ± 2°C | 23°C ± 2°C |
| 湿度控制 | 45% ± 3% | 45% ± 5% | 50% ± 10% | — |
| 换气次数 | ≥ 600 次/小时 | ≥ 400 次/小时 | ≥ 60 次/小时 | ≥ 25 次/小时 |
| 颗粒物 ≥ 0.3μm | ≤ 35 个/m³ | ≤ 3,520 个/m³ | ≤ 35,200 个/m³ | ≤ 352,000 个/m³ |
| 压差控制 | ≥ 15 Pa | ≥ 10 Pa | ≥ 5 Pa | ≥ 5 Pa |
标准化施工工艺，确保工程质量与交付效率
洁净室专用彩钢板墙板与天花板安装（50mm/75mm 厚度），R30 圆弧角处理，气密窗与传递窗预留。采用连续密封技术，确保围护结构气密性满足 ISO 14644 要求。
纯水/超纯水管道（UPVC/PP 材质）、工艺排气管道（PP/PVDF 材质）、压缩空气管道（不锈钢 304/316L）的标准化安装工艺，管道坡度和支架间距严格按图施工。
板缝密封（中性密封胶）、穿墙管道密封（防火密封胶）、门窗密封（三元乙丙密封条）、FFU 安装密封。每一道接缝经过气密性检查，确保无泄漏点。
以国际标准和国家规范为质量准绳
国际洁净室等级标准，涵盖洁净室分级、检测方法、设计和施工规范。我们的检测方案严格按 ISO 14644-1/2/3 执行。
国家标准《洁净厂房设计规范》，规定洁净厂房的建筑、结构、暖通、电气、给排水等设计要求。
国家标准《洁净室施工及验收规范》，覆盖洁净室施工安装与竣工验收全流程技术要求。
核心技术团队持有 NEBB（美国国家环境平衡局）洁净室认证师资格，具备国际视野的检测验证能力。